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BGBM晶圓薄化一般研磨Wafer Thining/Non - iST宜特

MOSFET晶圓薄化製程Wafer Thinning 利用研磨輪，快速且精密研磨後，再以蝕刻液進行表面微蝕刻，去除因研磨產生的破壞層，並釋放應力。

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