引發第二次電子革命,使高密度VLSI 可行. ✧ 金屬-氧化物-半導體(MOS) 結構(MOSFET). ✧ 金屬:鋁或其他金屬,很多是用高導的多晶矽. ✧ 氧化層:厚度tox,介電常數εox.
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