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材料科學與工程學系碩士論文 - 國立交通大學機構典藏

可得臨界電壓分別可低至11 Volt及25 Volt，並且於35 Volt時場發射電流則分 ... 後設定其射頻功率為50 Watt，分別進行10、15、30、60 min 薄膜濺鍍沉積，.

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