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半導體鑄造潔淨室空氣的空氣分子污染物(AMC) / 揮發性有機 ...
嚴格監控2號房的VOC污染,可能會嚴重影響該過程的一個模塊。 名為AVOC的指數,該指數匯總了以下8種主要成分(所有芳族化合物)的濃度:苯,甲苯,乙苯 ...
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