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vlsi標準片
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白光干涉系統光源輸出強度搭配不同物鏡與有效波長關係之研究
作為量測樣本的8μm 階高標準片由VLSI 驗證的階高結果為. 7978nm±65nm。實驗進行過程中,除了更換物鏡及調整光源強度外,其他條件皆為一致。 參. 研究成果.
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