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一文读懂VCSEL - 飞芯电子

VCSEL 芯片制程基本为常规的半导体工艺制程，包括光刻、刻蚀、沉积等工艺基本工艺流程(如图5)，通过侧氧工艺制作氧化限制孔， 侧氧工艺为VCSEL芯片制程 ...

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