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質子佈植應用於長波長1.31µm VCSEL 之研製(2/2) 計畫編號
中文 摘要. 於本計畫中,由於氮摻雜量若過高(>0.5%)的N-InGaAs,其品質 ... 長波長1550 nm 面射型雷射(VCSEL)晶片的下DBR 和InGaAsAs 的.
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