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物理氣相沈積PVD -電子束蒸鍍（E-beam） | 國家實驗研究院

蒸鍍技術原理目的：物理氣相沉積（Physical vapor deposition，PVD）係利用物理過程來進行沉積薄膜的技術。所謂物理過程是物質的相變化現象，例如蒸鍍即是由將固態物質 ...

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