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高精度無光罩式UV曝光機應用於IC載板與先進封裝產業

本技術結合數位光學處理技術、微透鏡與空間濾波器陣列、精密伺服運動控制，形成一完整之無光罩式數位UV曝光系統，可以在一大面積基板上製作出任意複雜圖形、細線寬的光阻微 ...

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