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基礎半導體IC製程技術 | 健康跟著走

NITRIDE的應力很大，直接澱積到SI上會在SI表面造成位錯，所以需要一層 ...,USG CMP; USG Anneal; Nitride and Pad Oxide Strip. 40 ... 氧化作用. • Si + O. 2. SiO.

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