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Chapter 10 化學氣相沉積與介電質薄膜 - PDF4PRO

USG. W. Metal 2, Al•Cu. P型磊晶層. 金屬1, Al•Cu ... 半導體. SiCl2H2 (二氯矽烷；DCS). Si (磊晶). SiCl3H (三氯矽烷；TCS). SiCl4 (四氯矽烷；Siltet).

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