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Producer® CVD | Applied Materials

該系統可提供高達110wph的原矽酸四乙酯(TEOS) 和碳化矽產量(3000Å PE TEOS和電漿矽烷) 和高達65wph的未摻雜的矽玻璃(USG) 產量(2000Å SACVD USG)。

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