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实时直流偏置的动态法切换时间改善严重欠阻尼边缘化场静电 ...

MEMS膜可以利用一条underdamped机械设计，实现了快速的初始上升时间。欠阻尼的机械设计的一个例子是静电边缘场致动（EFFA）的MEMS。

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