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涡轮分子泵_百度百科

中文名: 涡轮分子泵; 外文名: turbomolecular pump ... 泵的极限压力为10 -9 Pa，工作压力范围为10 -1 ～10 -8 Pa，抽气速率为几十到几千升每秒（1L=10 -3 m 3 ）。

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