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第三章儀器設備與實驗步驟

磁控濺鍍系統基本上是在高真空環境中充入工作氣體，其中， ... 關閉Turbo pump一小時左右，確定Turbo 完全停止後關閉機械. 幫浦並破真空。這裡須特別注意，關閉機械幫 ...

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