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行政院國家科學委員會專題研究計畫成果報告- 渦輪分子真空泵 ...

中文摘要： 渦輪分子真空泵浦(Turbo Molecular Pump，TMP)是在高真空 ... 方式來區分為抽氣型態、工作原理型態、工作壓力範圍等區分，如表1 所示。真空領域中，.

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