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真空幫浦國立台北科技大學真空及超低溫技術研究室鄭鴻斌 ...

並在表3.6 中詳述各類幫浦的工作壓力範圍。 ... 3.1 正排氣量幫浦(positive displacement pumps) ... (drag pump)及渦輪分子幫浦(turbo molecular pump)。

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