... 一鹵素燈( tungsten - halogen lamp )或石墨電阻細片或紅外光燈,由晶圓一或二面加熱,如圖 6.35 所示。快速熱退火在 1100 °C 10 秒,移除摻質缺陷的效果相當於爐退火 ...
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