你即將離開本站

並前往https://ir.nctu.edu.tw/bitstream/11536/77689/1/651701.pdf

工學院產業安全與防災學程 - 國立交通大學

鎢金屬蝕刻製程中以C3F8 取代SF6 達到PFC 減量之研究. The study of PFC reduction by replacing C3F8 substitute with SF6 for. Tungsten etch back process.

確定！ 回上一頁

查詢 「tungsten中文」的人也找了：

  1. tungsten硬度
    2.
  2. 鎢
    3.
  3. 鎢用途
    4.
  4. tungsten carbide中文
    5.
  5. 鎢硬度
    6.
  6. Tungsten carbide
    7.
  7. Tungsten light
    8.
  8. tungsten半導體
    9.