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201824362.pdf - 國立交通大學機構典藏

【特徵化學式】 ... TSA)。這些前驅物可以與氣體例如氧(O2)、臭氧(O3)、氮. (N2)、 (Ar)、氫(H2)、氨(He)和/或(NH3)組合。等離子. 體化學氣相沉積(plasma-CVD)可用於可 ...

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