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TW 201446643 A (43) 公開日:中華民國103 (2014)年12月16日

本發明係關於一種用於合成三矽烷胺(trisilylamine,TSA)之凝結相分批法。描述一種併入溶劑 ... (本案若有化學式時,請揭示最能顯示發明特徵的化學式】: C179327PA.doc ...

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