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化学前驱体材料

英文名, 化学式, CAS号, 别名, 中文名. Trimethyl Aluminum, C3H9Al, 75-24-1 ... N,N-Disilylsilanamine, H9NSi3, 13862-16-3, TSA, (N,N-二硅烷基-硅烷胺).

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