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光電科技研究所 - 國立臺灣師範大學

影(Photo Lithography)、微縮(Trimming)、蝕刻(Etching)，三種製程合. 力完成初期Fin MESA；曝光鰭型圖形後，需使用氧電漿對晶圓上之. 光阻圖案做鰭型線寬(Fin Width) ...

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