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半導體用多靶薄膜濺鍍裝置發表

晶圓製程當中，應用在個別半導體製品的多靶薄膜濺鍍裝置，深獲業界及客戶好評 ... 薄晶圓採用Tray 盤搬運，可減輕搬送途中的意外以及對晶圓的損害等。

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