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[19]中华人民共和国专利局

上,形成一层多晶半导体薄膜,将预定的离子注入所说的多晶半导体. 薄膜中,以形成一层非晶半导体薄膜, ... 本发明涉及薄膜晶体管(TPT)的制作方法,特别涉及适合于.

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