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二次離子質譜分析儀(SIMS) - iST宜特

iST的SIMS高解析度，除了針對離子植入、摻雜量的P/N濃度定量分析外，還可進行P/N介面擴散的深度分析(Junction Depth)，以及BULK材料中微量元素的濃度 ...

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