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Time-of-Flight Secondary lon Mass Spectrometry

TOF -SIMS 对比其他分析仪器. TOF-SIMS. XPS. SEM-EDX, EPMA. 功能. 样品的原子分子构造. 样品的组成成分和状态分析. 样晶的组成成分分析. 检测深度. 0.1-1 nm.

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