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產品標識. 化學名稱: 4MS; 四甲基矽烷. 同義名稱: 四甲基矽烷; 四甲基矽烷; TMS; TMS (矽烷衍生物); 聯合國編碼2749; C4H12SI. 化學族: 矽烷. 建議用途: 半導體製造.

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