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【19】中華民國【12】專利公報（ B）

二氧化矽硬化膜之化學反應式為：. 圖式簡單說明. 圖一為本發明電漿增強化學氣相沉積系統之示意圖；. 圖二A 係不同四甲基矽烷有機液體及氧氣流量比(TMS/O2)時之薄膜硬度 ...

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