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先進光罩製作技術的挑戰

相位移光罩(Phase Shift Mask; PSM)、光學近接效應修正(Optical Proximity Correction;. OPC)、傳統﹝鉻與玻璃形成之(Chrome ... 0.18µm/0.13µm的OPC光罩，在TMC就曾.

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