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鈦氮化物薄膜之微結構與特性研究

二元過渡金屬氮化物薄膜，如鈦(Ti)及氮化鈦(TiN)的良好性能已受到人們廣大關注，且Ti / TiN 所形 ... 物的硬度較大，導致電漿轟擊靶材的效率降低，.

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