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tin氮化鈦
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高功率脈衝電漿濺射技術工業應用研究II
本研究利用高功率脈衝磁控濺鍍系統,成功地鍍著氮化鈦薄膜在矽(100). 基材上。 ... 利用雷射光學曲率法量測薄膜殘餘應力,TiN 薄膜具有相當高的殘餘應力,.
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