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tin氮化鈦
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陰極電弧沈積氮化鋁鈦/氮化鉻奈米多層薄膜之開發與應用
物理氣相沉積技術所製備之硬質薄膜在近十年來已經快速發展成為國內表面工程之主流,商業化產品如氮化鈦(TiN)、氮化鉻(CrN)及氮化鋁鈦(TiAlN)硬質薄膜已廣泛使用 ...
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