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鈦氮化物薄膜之微結構與特性研究

摘要. 二元過渡金屬氮化物薄膜，如鈦(Ti)及氮化鈦(TiN)的良好性能已受到人們廣大關注，且Ti / TiN 所形. 成的雙層複合膜被預期成為多功能材料，氮化鈦薄膜透過氣體流量 ...

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