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添加元素Al,La改性IP-TiN膜性能研究

本文在离子镀TiN(IP-TiN)膜的基础上添加了6wt-％的金属元素Al和不同微量的稀土元素La(0.1,1.0,2.0wt-％),获得了改性的IP-TiN膜(称Al,La改性IP-TiN)。

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