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磁控溅射TiN薄膜的工艺及电学性能研究 - 表面技术

磁控溅射TiN薄膜的工艺及电学性能研究. 引用本文：, 胡敏,刘莹,赖珍荃,刘倩,朱秀榕.磁控溅射TiN薄膜的工艺及电学性能研究[J].功能材料,2009,40(2). 作者姓名：, 胡敏 ...

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