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tin中文化學
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最常使用之晶圓表面清潔步驟為濕式化學法(wet chemistry)
3.化學污染物. 一般化學污染物可分為酸、鹼、凝集性有機物、摻雜等四種。 (1)無機物:. 包括H2SO4/H2O2 清洗溶液清洗後,殘留在晶圓表面的成份與無塵室中 ...
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