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原子層沉積系統原理及其應用

這些傑出的能力可歸功於跟傳統鍍膜技術不一樣的飽和化學吸附與自我限制的鍍膜. 機制。這篇文章將詳細介紹製程 ... TiN 薄膜均勻地覆蓋在25:1 高深寬比的深溝渠內。

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