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半導體製程技術 - 聯合大學

增進蝕刻製程的化學反應 ... 側壁空間層. WCVD. TiN. CVD. 介電質薄膜在CMOS電路的應用 ... 化學氣體或蒸氣和晶圓表面的固體產生反應，在表面上.

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