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在具有氮化鈦緩衝層之(001)矽晶片上成長鑽石之研究

在TiN 製程部分，藉由準分子雷射的高能量熔融TiN 靶材表面，使之. 形成電漿沉積在基板表面上長成連續膜。藉由不同的氮氣製程和不同的雷. 射頻率控制薄膜的化學組成、 ...

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