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半导体工艺(五)沉积&离子注入工艺使半导体具有电特性!

这一次,我们将讨论制造这种薄膜的沉积过程,以及使半导体具有电气特性的一系列过程。 给晶圆穿上薄衣的沉积工艺(deposition). 词典中的“薄膜(thin film)”是 ...

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