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熱對流式微機電系統晶片於生理即時監控應用之研究 - 工程科技 ...

thermopile 的固體熱傳之貢獻，提高氣體熱導. 相對固體熱導之供獻。 ... 的感測原理成功的設計並製造出X-Y 象限的 ... heater 與thermopile 間距, b. micro-link 結.

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