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白光干涉儀，用於亞微米精度的穩定厚度測量

厚度 測量範圍 氣隙測量（折射率〜1）50 µm至2.1 mm 玻璃厚度測量（折射率〜1.5）35 µm至1.4 mm. IMS5400-TH白光干涉儀用於從相對較大的距離進行高精度的厚度測量，優勢 ...

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