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中華民國工業安全衛生協會- TFT-LCD面板產業之化學品潛在 ...

TFT -LCD製程中的玻璃基板清洗、薄膜沉積、蝕刻、彩色濾光膜、反應腔清洗等製程均使用到多種腐蝕性液體、毒性氣體、毒性物質、氧化性物質及易燃性液體，接 ...

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