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FPD 專用大型光罩之技術動向－

為提高大尺寸TFT-LCD 液晶面板的生產. 效率，玻璃基板逐漸走向大型化之外，Pattern 也㈰漸變得細微化與複. 雜化。為減少光罩的使用數量以及製程次數，在廣泛使用GTM( ...

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