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TES公司气相蚀刻设备通过三星电子质量测试,或用于P3工厂
据韩媒报导,半导体沉积和蚀刻设备公司TES 的气相蚀刻设备(GPE) 已通过三星电子的质量测试,有望在年内向三星晶圆代工产线供应GPE 设备。
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