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Spacer/侧墙制程 - 360doc个人图书馆

在讲Spacer的Process理论之前，先讲下Spacer的作用，为什么要有这么个结构？ ... oxide，然后中间沉积一层薄的SiN，再沉积一层TEOS，这样先蚀刻TEOS停 ...

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