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L18 logic flow training 0302 - 豆丁网

STI stress effect 在STIHDP前LINER-OXIDE的作用是什么？ ... 先用热氧化法于700下生长一层150左右的lining TEOS作为的ETCH NITRIDE STOPLAYER， 也作为Nitride的缓冲 ...

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