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基礎半導體IC製程技術 | 健康跟著走

pad oxide作用- CMOS的結構與作用原理...首先生成SiC，SiC再與SiO2作用，形成Si,SiO,CO...氧化層(padoxide)、場氧化 ... #4 LPCVD TEOS Oxide 如Gate Oxide 及.

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