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微電子材料與制程【第九章氧化，介電層】

構成元件基底(Substrate)、作用區(Active region)、及P/N接面等部分則是半導體 ... 這層因為空氣裏的氧及水分子所自然形成的SiO2，則稱為“原始氧化(native oxide) ”。

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